MS2202AB-M09是一款适用于雾化器吸烟状态检测的MEMS气流压力开关传感器，当内置MEMS芯片感应到气压变化时，MEMS芯片将气压变化量转换为电容变化量，而MEMS芯片与内置的电容式气流检测ASIC芯片输入端相连，通过气流检测ASIC 输入端电路检测电容变化量信号判断用户操作行为，并输出相应触发高低电平信号。本传感器采用的ASIC设计不会有目前MCU 方案的死机现象，也不会出现因低于临界电压而引起的芯片无法复位现象；省电模式下静态电流≤5uA，外围应用电路简单。
本产品采用2.7×1.8mm封装，体积小、可过回流焊，满足SMT贴片作业可实现高效率自动化生产。本产品在在金属罩壳孔处贴防油膜，进一步加强了防油防尘功能，增加了系统使用的可靠性。
MEMS开关传感器MS2202AB-M09典型应用电路
MS2202AB-M09 MEMS传感器极限参数
| 符号 | 参数 | 范围 | 单位 |
| VDD | 电源电压 | -0.3 to 6.5 | V |
| VSW | 采样端电压 | -0.3 to VDD +0.3 | V |
| PD | 功率损耗 | Internally limited | mW |
| TOPR | 操作温度 | -20 to +85 | ℃ |
| TSTG | 保存温度 | -55 to +150 | ℃ |
注意：超过上表中规定的极限参数会导致器件永久损坏。不推荐将该器件工作在以上极限条件范围之外，否则可能会影响器件的可靠性。
MEMS传感器MS2202AB-M09性能参数
| 符号 | 参数 | 条件 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 |
| P | 操作压力 | -100 | -200 | Pa | ||
| VUV | 供电欠压阈值 | 低于该电压不能触发 | 1.7 | 1.9 | 2.1 | V |
| Iq | 静态电流 | 省电模式 | 3.5 | 5 | uA | |
| Isw | SW端电流 | SW端接地 | 260 | nA | ||
| Fosc | 内部时钟频率 | 28 | KHz | |||
| Vol | 输出低电压 | VDD=3.7V | 0 | V | ||
| Voh | 输出高电压 | VDD=3.7V | 3.7 | V | ||
| IOH | 输出拉电流能力 | 0UT输出高时加VDD-0.5V，测流出电流 | 8 | mA | ||
| IOL | 输出灌电流能力 | 0UT输出低时加0.5V，测流入电流 | 18 | mA | ||
| tFIRE | 触发延时 | SW有效电容变化到OUT翻转的时间 | 50 | ms | ||
| tBLOW | 吹气保护时间 | 不会引发翻转的吹气持续时间 | 20 | s |
MEMS开关传感器MS2202AB-M09机械规格
| ltem | Dimension | Tolerance | Units |
| Length(L) | 2.75 | 0.1± | mm |
| Width(w) | 1.85 | 0.1± | mm |
| Height(H) | 0.95 | 0.1± | mm |
| Acoustic Port(AP1) | ∅0.2 | 0.05± | mm |
| Acoustic Port(AP2) | ∅0.5 | 0.05± | mm |
| Pin | Pin Name | Description |
| 1 | NC | 空 |
| 2 | Output | 开关输出 |
| 3 | VDD | 供电电源 |
| 4 | GND | 地 |
注意：在最终应用中，所有接地引脚必须接地。
MS2202AB-M09 MEMS传感器安装示意图
