MS2201AA-M10（M09）是一款适用于雾化器吸烟状态检测的MEMS 气流压力开关传感器，当内置MEMS 芯片感应到气压变化时，MEMS 芯片将气压变化量转换为电容变化量，而MEMS 芯片与内置的ASIC 芯片输入端相连，通过ASIC 输入端电路检测电容变化量信号判断用户操作行为，并输出相应触发高低电平信号。采用ASIC 设计，不会有目前MCU 方案的死机现象，也不会出现因低于临界电压而引起的芯片无法复位现象；省电模式下静态电流≤5uA，外围应用电路简单。
1、极限参数
| 参数 | 符号 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 |
| 工作温度 | TOPR | -40 | 85 | ℃ | |
| 存储温度 | TSTG | -40 | 125 | ℃ | |
| 供电电压 | Vdd | -0.3 | 5.5 | V | |
| ESD | 2000 | V |
2、性能参数
未特殊指定时的条件为VDD =4.0V, TA = 25℃.
| 符号 | 含义 | 条件 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 |
| P | 操作压力 | -100 | -200 | Pa | ||
| VDD | 工作电压范围 | 2.4 | 5 | V | ||
| IQ | 静态功耗 | 3 | 5 | uA | ||
| Vol | 输出低电压 | VDD=3.7V，负载电阻2.2K | VDD*15% | V | ||
| Voh | 输出高电压 | VDD=3.7V，负载电阻2.2K | VDD*85% | V | ||
| tFIRE | 启动延时 | 有效电容变化到OUT翻高 | 60 | ms | ||
| tOFF | 停止延时 | 咪头电容恢复到OUT翻低 | 60 | ms | ||
| tBLOW | 反吹保护时间 | 不会启动的吹气持续时间 | 15 | s | ||
| tMAX | 超时启动保护时间 | 最长持续启动的时间 | 12 | s | ||
| SM | 算法分辨率[1] | 1/32 | ||||
| HBM | ESD 能力 | 2000 | V |
注[1]: 芯片内部算法的理论最大能分辨的电容变化率，实际分辨率或灵敏度受PCB等外围影响。
3、典型应用电路图
4、系统框图
单位：mm未注公差：±0.1（mm）
| ltem | Dimension | Tolerance(+/-) | Units |
| Length(L) | 2.75 | 0.1 | mm |
| Width(W) | 1.85 | 0.1 | mm |
| Height(H) | 0.95 | 0.1 | mm |
| Acoustic Port(AP1) | ∅0.2 | 0.05 | mm |
| Acoustic Port(AP2) | ∅0.5 | 0.05 | mm |
| Pin | Pin Name | Description |
| 1 | NC | 空 |
| 2 | Output | 开关输出 |
| 3 | VDD | 供电电源 |
| 4 | GND | 地 |
注意：在最终应用中，所有接地引脚必须接地。
5、安装示意图
